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熱透鏡效應(yīng)測量儀
? 本儀器用于測量光學(xué)晶體的激光誘導(dǎo)熱透鏡效應(yīng)，給出晶體隨泵浦激光功率增加情況下，由材料光吸收導(dǎo)致的熱透鏡效應(yīng)強(qiáng)度的變化數(shù)據(jù)，可幫助晶體生產(chǎn)廠家評(píng)估晶體的光吸收特性，有利于晶體質(zhì)量的分級(jí)和生產(chǎn)工藝的改進(jìn)。
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全口徑智能環(huán)拋機(jī)
提供各種規(guī)格環(huán)形拋光機(jī)，具備轉(zhuǎn)速、偏心距、校正盤卸荷等全工藝參數(shù)自動(dòng)監(jiān)測和控制功能，用于高精度和超高精度平面鏡的加工。
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雙擺研磨拋光機(jī)
用于高精度薄片型光學(xué)元件加工。
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分體式四軸研磨拋光機(jī)
提供多種規(guī)格拋光研磨盤，可用于各種光學(xué)玻璃、石英、晶體等脆性材料的平面、球面的研磨和拋光
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機(jī)器人研拋一體機(jī)
基于工業(yè)機(jī)器人的小工具加工機(jī)床，利用小工具在元件表面高速旋動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)平面、球面及非球面元件面形快速收斂。利用自主研發(fā)的基于力控傳感器的柔性拋光頭，確保拋光過程中材料去除函數(shù)穩(wěn)定可控，從而實(shí)現(xiàn)超精密元件表面的高精度加工，配合全鏈路工藝、軟件，實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。
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臺(tái)式機(jī)器人研拋一體機(jī)
基于工業(yè)機(jī)器人的小工具加工機(jī)床，利用小工具在元件表面高速旋動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)平面、球面及非球面元件面形快速收斂。利用自主研發(fā)的基于力控傳感器的柔性拋光頭，確保拋光過程中材料去除函數(shù)穩(wěn)定可控，從而實(shí)現(xiàn)超精密元件表面的高精度加工，配合全鏈路工藝、軟件，實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。
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離子束拋光機(jī)
離子束拋光機(jī)是高束流密度、較小的束散角和較大束流均勻度的高能離子束轟擊光學(xué)元件表面，實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件高精度加工的拋光設(shè)備。高能離子的產(chǎn)生是基于高純度惰性氣體，經(jīng)過中空陰極，在電源模塊放電作用下產(chǎn)生電離，并將電子束流注入腔體內(nèi)，電子束流經(jīng)過電子均勻板將束流均勻分散進(jìn)入到陽極區(qū)域內(nèi)，電子在陽極的電場和磁場的作用下電力，并在柵網(wǎng)的電場作用下引出離子束流，通過系統(tǒng)控制，實(shí)現(xiàn)均勻、穩(wěn)定的光學(xué)元件表面去除。
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4吋激光干涉儀
激光干涉儀采用相移技術(shù)準(zhǔn)確表征被測表面的三維形貌，測量精度高達(dá) 0.06um 甚至更高，廣泛用于平面光學(xué)元件高精度檢測
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大口徑波長移相激光干涉儀
激光干涉儀采用相移技術(shù)準(zhǔn)確表征被測表面的三維形貌，測量精度高達(dá) 0.06um 甚至更高，廣泛用于平面光學(xué)元件高精度檢測